Design, fabrication, and optimization of micromechanical flexures /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
Berkeley :
University of California,
1990
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| 实物描述: | xvii, 116 p. : ill. ; 18 cm. |
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| 参考书目: | References : p. 100-105 |