Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Mimiwaty Mohd Noor
Format: Thesis Book
Language:Malay
Published: Bangi : Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 01164nam a2200289 a 4500
003 UKM
005 20050216153000.0
008 050113s2004 my a m 000 0 may
039 9 |a 200502161530  |b bakar  |c 200501310914  |d laili  |y 01-13-2005  |z norehan 
090 |a TK7871.15.S55M55 2004 tesis 
090 |a TK7871.15 
100 0 |a Mimiwaty Mohd Noor 
245 1 0 |a Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon /  |c Mimiwaty bt Mohd Noor 
260 |a Bangi :  |b Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,  |c 2004 
300 |a xv, 161 p. :  |b ill. ;  |c 30 cm 
502 |a Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2004 
504 |a Rujukan : p. [147]-150 
610 2 0 |a Universiti Kebangsaan Malaysia  |x Dissertations 
650 0 |a Silicon  |x Etching 
650 0 |a Plasma etching 
650 0 |a Dissertations, Academic  |z Malaysia 
907 |a .b1347053x  |b 28-05-21  |c 12-11-19 
998 |a t  |b 01-01-05  |c m  |d x   |e -  |f may  |g my   |h 0 
914 |a vtls003299093 
990 |a he/nms 
991 |a Fakulti Kejuruteraan 
945 |g 1  |i 00001342264  |j 0  |l t0013  |n No. of pieces: 1  |o -  |p MYR0.00  |q -  |r -  |s -   |t 3  |u 0  |v 0  |w 0  |x 0  |y .i17726050  |z 12-11-19