Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon /
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Mimiwaty Mohd Noor |
---|---|
التنسيق: | أطروحة كتاب |
اللغة: | Malay |
منشور في: |
Bangi :
Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,
2004
|
الموضوعات: | |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Silicon etching using TMAH /
بواسطة: Chong, Chee Wah
منشور في: (1997) -
Plasma charge damage in submicron process /
بواسطة: Song, Jun
منشور في: (1999) -
Laser cleaning of plasma-etch-induced polymers from via holes and other submicron structures on silicon wafers /
بواسطة: Lee, Yuan Ping
منشور في: (1998) -
Optimization of inductively coupled plasma dry etching for planar waveguide fabrication /
بواسطة: Lim, Weng Hong
منشور في: (2010) -
Laser processing of III-V semiconductors /
بواسطة: Lee, Augustin
منشور في: (1995)