Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMs /
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | Malay |
| Published: |
Bangi :
Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,
2006
|
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|