Pembangunan akselerometer berdasarkan proses polisilikon epitaksi tebal /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 图书 |
| 语言: | Malay |
| 出版: |
Bangi :
Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,
2008
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| 实物描述: | xvi, 187 p. : ill., photographs, charts ; 30 cm. |
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| 参考书目: | Rujukan : p. [153]-156 |