Rekabentuk dan fabrikasi mikrofon kapasitif MEMS berdiafragma grafin-PMMA /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Haslinawati Mohd Mustapha (Author)
Format: Thesis Book
Language:Malay
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 01299nam a2200301 a 4500
008 200218s2019 a 000 0 may d
040 |a UKM  |e rda 
090 |a TK6478  |b .H337 2019 3 tesis 
100 0 |a Haslinawati Mohd Mustapha  |e author. 
245 0 0 |a Rekabentuk dan fabrikasi mikrofon kapasitif MEMS berdiafragma grafin-PMMA /   |c Haslinawati Mohd Mustapha. 
264 |c 2019Ã. 
300 |a xviii, 132 pages :   |b illustrations ;   |c 30 cm. + \e 2 computer optical discs (4 3/4 in.). 
336 |a text  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |2 rdamedia 
338 |a volume  |2 rdacarrier 
502 |a Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2019. 
504 |a Rujukan : mukasurat 124-132. 
593 |a Cd yang disertakan tidak berfungsi. Telah disemak pada 19/2/2021 - nadzmi/rohana.  
610 2 0 |a Universiti Kebangsaan Malaysia  |x Dissertations. 
650 |a Dissertations, Academic  |z Malaysia. 
650 |a Microphone. 
650 |a Microelectromechanical system. 
907 |a .b16794059  |b 10-11-21  |c 18-02-20 
998 |a l0013  |b  - -   |c m  |d x   |e -  |f may  |g my   |h 0 
949 |o 1010002612 (3) 
990 |a smy 
991 |a Institut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik 
945 |a TK6478.H337 2019 3 tesis  |g 1  |i 00002236268  |j 0  |l l0013  |o -  |p MYR0.00  |q -  |r -  |s -   |t 3  |u 0  |v 0  |w 0  |x 0  |y .i21466907  |z 10-11-21