Silicon nanowire sensor from electron beam lithography: design, fabrication and characterization

This study demonstrates the process development of silicon nanowires (SiNWs) sensor requires both the fabrication of nanoscale diameter wires and standard integration to CMOS process. Prior to actual fabrication process, the SiNWs sensor is designed via Elphy Quantum GDS II Editor and AutoCAD. A to...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Siti Fatimah, Abd Rahman
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://dspace.unimap.edu.my:80/xmlui/bitstream/123456789/33136/1/Page%201-24.pdf
http://dspace.unimap.edu.my:80/xmlui/bitstream/123456789/33136/2/Full%20text.pdf
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة