GeSn Film Deposited By Rf Magnetron Sputtering For Photodetector Applications
Di dalam tesis ini, filem aloi semikonduktor Ge1-xSnx telah disediakan melalui sistem percikan magnetron RF dalam usaha menumbuhkan filem pada suhu rendah untuk mengelakan pengasingan Sn pada permukaan. Sifat struktur, optik dan elektrik lapisan tersebut di atas substrat Si disiasat untuk aplikasi o...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.usm.my/38851/1/GeSn_film_deposited_by_RF_magnetron_sputtering_for_photodetector_application_by_Hadi_Mahmodi_Sheikh_Sarmast..pdf |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | Di dalam tesis ini, filem aloi semikonduktor Ge1-xSnx telah disediakan melalui sistem percikan magnetron RF dalam usaha menumbuhkan filem pada suhu rendah untuk mengelakan pengasingan Sn pada permukaan. Sifat struktur, optik dan elektrik lapisan tersebut di atas substrat Si disiasat untuk aplikasi optoelektronik
In this thesis, the Ge1-xSnx semiconductor alloy films have been prepared through RF magnetron sputtering to grow the film at low temperature to suppress the Sn surface segregation. The structural, optical, electrical properties of the grown Ge1-xSnx alloy films on silicon (Si) substrate were investigated for optoelectronic applications
|
|---|