Development Of 3D Microstructures By Using Grayscale Photolithographic Technique
Perkembangan pesat teknologi seperti bio-chip, peranti pendalir mikro, peranti mikro-optik dan sistem mikro elektro-mekanikal (MEMS) memerlukan keupayaan membina struktur tiga dimensi (3D) yang kompleks di skala mikro. Bagi membina struktur 3D di skala mikro, kebiasaannya beberapa topeng cahaya digu...
Saved in:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Thesis |
| 语言: | English |
| 出版: |
2016
|
| 主题: | |
| 在线阅读: | http://eprints.usm.my/41609/1/Development_Of_3D_Microstructures_By_Using_Grayscale_Photolithographic_Technique.pdf |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|