Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi

Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan de...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Nugroho, Cahyo Budi
Format:	Thesis
Language:	English
Published:	2010
Subjects:	TN1-997 Mining engineering Metallurgy
Online Access:	http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	my-usm-ep.41649
record_format	uketd_dc
spelling	my-usm-ep.416492019-04-12T05:26:54Z Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi 2010-04 Nugroho, Cahyo Budi TN1-997 Mining engineering. Metallurgy Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. 2010-04 Thesis http://eprints.usm.my/41649/ http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf application/pdf en public masters Universiti Sains Malaysia Pusat Pengajian Kejuteraan Bahan & Sumber Mineral
institution	Universiti Sains Malaysia
collection	USM Institutional Repository
language	English
topic	TN1-997 Mining engineering Metallurgy
spellingShingle	TN1-997 Mining engineering Metallurgy Nugroho, Cahyo Budi Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
description	Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon.
format	Thesis
qualification_level	Master's degree
author	Nugroho, Cahyo Budi
author_facet	Nugroho, Cahyo Budi
author_sort	Nugroho, Cahyo Budi
title	Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_short	Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_full	Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_fullStr	Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_full_unstemmed	Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
title_sort	pemeriksaan filem sio2 yang dienapkan di atas susbtrat si melalui teknik pirolisis semburan ultrabunyi
granting_institution	Universiti Sains Malaysia
granting_department	Pusat Pengajian Kejuteraan Bahan & Sumber Mineral
publishDate	2010
url	http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf
_version_	1747820948987314176

Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi

Similar Items