Gallium Nitride (Gan) Based Gas Sensor Using Catalytic Metal
In this work, Pt, Pd, Ag and Ni were deposited on p type and n type of GaN and AIGaN as catalytic metals contact using sputtering system through meta! mask to detect N2, H2 and CH4 gases with different concentrations and different metal thicknesses with a range of SO-300nm. Samples were annealed...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | |
---|---|
التنسيق: | أطروحة |
اللغة: | English |
منشور في: |
2005
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.usm.my/55540/1/abdo%20yahya.pdf |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|