Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Published: |
2004
|
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| id |
my-utm-ep.32368 |
|---|---|
| record_format |
uketd_dc |
| spelling |
my-utm-ep.323682017-08-02T07:25:31Z Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) 2004 Marwoto, Putut T Technology (General) 2004 Thesis http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/ phd doctoral Universiti Teknologi Malaysia, Faculty of Science Faculty of Science |
| institution |
Universiti Teknologi Malaysia |
| collection |
UTM Institutional Repository |
| topic |
T Technology (General) |
| spellingShingle |
T Technology (General) Marwoto, Putut Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| description |
|
| format |
Thesis |
| qualification_name |
Doctor of Philosophy (PhD.) |
| qualification_level |
Doctorate |
| author |
Marwoto, Putut |
| author_facet |
Marwoto, Putut |
| author_sort |
Marwoto, Putut |
| title |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_short |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_full |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_fullStr |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_full_unstemmed |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_sort |
pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-c:h) |
| granting_institution |
Universiti Teknologi Malaysia, Faculty of Science |
| granting_department |
Faculty of Science |
| publishDate |
2004 |
| _version_ |
1747815985710104576 |