The structural and optical properties of hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) thin films deposited using a direct current-plasma enhanced chemical vapour deposition (DC-PECVD) technique
Hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) thin films were deposited using the DC plasma enhanced chemical vapour deposition (DC-PECVD) technique. The effects of the deposition parameters (chamber pressure, electrode distance, CH4 flow rate, and substrate temperature) on the deposition rate were studied....
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2005
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.utm.my/id/eprint/35018/1/SurianiAbuBakar%20MFS2005.pdf |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|