Modeling of electrostatic actuated mems cantilever beam for application as optical switch
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| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Thesis |
| 出版: |
2002
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| 主題: | |
| 標簽: |
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沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
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| 格式: | Thesis |
| 出版: |
2002
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| 主題: | |
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