Hydrogenated silicon nitride alloy from DC plasma decomposition : preparation and physical properties /
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| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Thesis 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
1998.
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| 主题: | |
| 在线阅读: | http://studentsrepo.um.edu.my/id/eprint/1621 |
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| Item Description: | Microfiche. Kuala Lumpur : University of Malaya Library, 2000. 3 fiches : negative ; 11 x 15 cm. |
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| 实物描述: | iii, 216 leaves [append.] : ill. ; 1997. |
| 参考书目: | Includes bibliographycal references. |