Lee, Y. P. (1998). Laser cleaning of plasma-etch-induced polymers from via holes and other submicron structures on silicon wafers.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Lee, Yuan Ping. Laser Cleaning of Plasma-etch-induced Polymers from via Holes and Other Submicron Structures on Silicon Wafers. 1998.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Lee, Yuan Ping. Laser Cleaning of Plasma-etch-induced Polymers from via Holes and Other Submicron Structures on Silicon Wafers. 1998.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.