Thermal behavior of tantalum-based diffusion barriers in Cu/Si metallization /
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة كتاب |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
1999.
|
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| وصف مادي: | xi, 132 leaves : ill. ; 30 cm. |
|---|---|
| بيبلوغرافيا: | Includes bibliographical references. |