Diamondlike carbon thin film deposition using a RF planar coil inductively coupled plasma system /
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Liew, Wai Soon |
---|---|
التنسيق: | أطروحة كتاب |
اللغة: | English |
منشور في: |
2001.
|
الوصول للمادة أونلاين: | http://studentsrepo.um.edu.my/id/eprint/2891 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Deposition of diamond and diamondlike carbon films using RF plasma /
بواسطة: Tan, Chian Hong
منشور في: (2004) -
Development of a planar coil radio frequency inductively coupled plasma system for material processing /
بواسطة: Ng, Kim Hooi
منشور في: (2008) -
Studies on a planar coil inductively coupled plasma system and its applications /
بواسطة: Kok, Yip Cheong
منشور في: (1997) -
Optimization of inductively coupled plasma dry etching for planar waveguide fabrication /
بواسطة: Lim, Weng Hong
منشور في: (2010) -
Inductively coupled plasma dry etching process on planar lightwave circuit fabrication /
بواسطة: Chuah, Khoon Seah
منشور في: (2010)