Oxidation-induced stacking fault in (100) and (111) silicon wafers /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
2002.
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://studentsrepo.um.edu.my/id/eprint/2316 |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xiii, 111 leaves : ill., (some col.) ; 30 cm. |
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| 參考書目: | Bibliography: p. 101-103. |