Tham, T. M. (2001). Design and control of an integrated bake/chill system for the microlithography process.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Tham, Tze Minn. Design and Control of an Integrated Bake/chill System for the Microlithography Process. 2001.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Tham, Tze Minn. Design and Control of an Integrated Bake/chill System for the Microlithography Process. 2001.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.