Study on the corrosion behavior of tungsten and titanium in post-etch strippers commonly used in semiconductor manufacturing /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
2002.
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| 主題: | |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xii, 99 leaves : ill. ; 30 cm. |
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| 參考書目: | Bibliography: leaves 85-89. |