Time & temperature optimization for iron-boron pair (Fe-B) dissociation in silicon wafers by surface photovoltage (SPV) method /

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书目详细资料
主要作者: Phang, Siew Wei
格式: Thesis 图书
语言:English
出版: 2006.
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实物特征
实物描述:ix, 67, A4, B4, C43 leaves : ill. ; 30 cm.
参考书目:Bibliography: leaves 65-67.