Influence of RF power and hidrogen dilution on the optical and structural properties of hydrogenated silicon thin films deposited by RF plasma enhanced chemical vapour deposition /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Shi, Chee Han
التنسيق: أطروحة كتاب
اللغة:English
منشور في: 2008.
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!