PECVD hydrogenated amorphous carbon films : growth and characterization /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
2008.
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://dspace.fsktm.um.edu.my/handle/1812/599 |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xx, 184 leaves : ill. ; 30 cm. |
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| 參考書目: | Bibliography: leaves 163-174. |