Characterization of an inductively coupled plasma produced in argon at 13.56 MHz /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
2010.
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| 主题: | |
| 在线阅读: | http://studentsrepo.um.edu.my/id/eprint/4309 |
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| 实物描述: | xiv, 105 leaves : ill. ; 30 cm. |
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| 参考书目: | Bibliography: leaves 102-105. |