Hybrid Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition/sputtering system for preparation of luminescent silicon carbon films /
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| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Thesis 图书 |
| 语言: | English |
| 出版: |
2013.
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| 主题: | |
| 在线阅读: | http://studentsrepo.um.edu.my/id/eprint/4414 |
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