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    A study of some aspects of electron beam lithography /
    由 Chor, Eng Fong
    出版 1982
    主題: “...Lithography, Electron beam....”
    Thesis 圖書
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    Fabrication and characterization of submicrometer structures and devices using soft lithography and scanning probe microscopy /
    由 Ng, Hou Tee
    出版 2001
    主題: “...Lithography, Electron beam....”
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