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    Photoresist trimming technique in high-density oxygen-based plasmas for sub-0.1 um mosfet fabrication using 248-nm lithography /
    由 Sin, Chian Yuh
    出版 2002
    主题: “...Photoresists....”
    Thesis 图书
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    Optimization of line pattern transfer of integrated optical mach-zender interferometer for optical sensor
    主题: “...Photoresists...”
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    Development of silicon on insulator based nanogap sensor for Escherichia Coli O157:H7 detection
    主题: “...Photoresists...”
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