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  1. 1
    Optimization of inductively coupled plasma dry etching for planar waveguide fabrication /
    由 Lim, Weng Hong
    出版 2010
    主题: “...Plasma etching....”
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  2. 2
    Laser cleaning of plasma-etch-induced polymers from via holes and other submicron structures on silicon wafers /
    由 Lee, Yuan Ping
    出版 1998
    主题: “...Plasma etching....”
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  3. 3
    Plasma charge damage in submicron process /
    由 Song, Jun
    出版 1999
    主题: “...Plasma etching Industrial applications...”
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  4. 4
    Inductively coupled plasma dry etching process on planar lightwave circuit fabrication /
    由 Chuah, Khoon Seah
    出版 2010
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  5. 5
    Kajian punaran basah tidak isotropik secara eksperimen untuk fabrikasi membran silikon /
    由 Mimiwaty Mohd Noor
    出版 2004
    主题: “...Plasma etching...”
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