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Goh, Boon Tong
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Layer-by-layer plasma enhanced chemical vapour deposition of nanocrystalline silicon thin films /
由
Goh
,
Boon
Tong
出版 2012
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Hydrogenated amorphous silicon by pulsed plasma enhanced chemical vapour deposition technique /
由
Goh
,
Boon
Tong
出版 2005
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