Ion beam micromachining of crystalline solids /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis |
| 語言: | English |
| 出版: |
Singapore :
Nanyang Technological University,
2002
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| 主題: | |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xxvii, 194 leaves : illustrations ; 30 cm. |
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| 參考書目: | Includes bibliographical references (leaves 180-194). |