Optimal modeling fill guide for improved interconnect performance

Chemical mechanical polishing (CMP) planarization process is an important step in fabrication for multi-layer metallization to create and design IC metallization and via interconnections. Fill synthesis methodologies are innovated by inserting dummy fill structures into the surrounding functional in...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Yeo, Joel Yee Kiat
التنسيق: أطروحة
منشور في: 2012
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!