Development Of 3D Microstructures By Using Grayscale Photolithographic Technique
Perkembangan pesat teknologi seperti bio-chip, peranti pendalir mikro, peranti mikro-optik dan sistem mikro elektro-mekanikal (MEMS) memerlukan keupayaan membina struktur tiga dimensi (3D) yang kompleks di skala mikro. Bagi membina struktur 3D di skala mikro, kebiasaannya beberapa topeng cahaya digu...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2016
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.usm.my/41609/1/Development_Of_3D_Microstructures_By_Using_Grayscale_Photolithographic_Technique.pdf |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|