Development Of Spacer Free Self-Aligned Contact Implantation For Power Devices

Mengoptimasi skema proses integrasi bagi sesebuah teknolgi merupakan salah satu faktor penting untuk mengurangkan bilangan kecatatan dan kitaran masa dalam bidang fabrikasi wafer. Dalam pengajian sarjana ini, aliran proses yang dioptimasi bagi menjajarkan penimpalan kontak telah dikaji bagi teknolog...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Poobalan, Banu
Format: Thesis
Language:English
Published: 2009
Subjects:
Online Access:http://eprints.usm.my/41784/1/Banu_AP_Poobalan24.pdf
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!