Phase change analysis of crystalline silicon thin film grown by very high frequency - plasma enhanced chemical vapour deposition and radio frequency - magnetron sputtering
In this study, silicon thin films had been successfully produced by using Very High Frequency-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (VHF-PECVD) technique. The phase transition from amorphous to crystalline silicon along with crystallite types remains unknown, especially at VHF region up to 200...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2020
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.utm.my/id/eprint/101483/1/NorHarizKadirRosmanMFS2020.pdf |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|