Improving performance in micromachining of silicon wafer using heat-assisted micro electrical discharge method
Microelectrical discharge machining (^EDM) is a non-traditional machining technique that has high potential in the processing of semiconductor materials. This technique can produce complex three-dimensional (3D) shapes without cutting forces, to eliminate the tendency of crack propagation, due to th...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2022
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.utm.my/id/eprint/102032/1/NoorDzulaikhaDaudPSKE2022.pdf.pdf |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|