Azali, M. M. (2022). Optimization of vhf-pecvd deposition parameters for silicon carbide film using in-situ and in-line gas phase analysis.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Azali, Muhamad Muizzudin. Optimization of Vhf-pecvd Deposition Parameters for Silicon Carbide Film Using In-situ and In-line Gas Phase Analysis. 2022.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Azali, Muhamad Muizzudin. Optimization of Vhf-pecvd Deposition Parameters for Silicon Carbide Film Using In-situ and In-line Gas Phase Analysis. 2022.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.