Optical properties measurements of nanocrystalline silicon thin films

Nanocrystalline silicon (nc-Si) thin films on 7059 corning glass substrate were prepared using Very High Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition (VHF-PECVD) at different deposition temperatures. The nc-Si properties film were analyzed using spectroscopic ellipsometer, ultra violet (UV-V...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Gan, Chee Hong
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
منشور في: 2011
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://eprints.utm.my/id/eprint/33381/1/GanCheeHongMFS2011.pdf
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!