Charging effects in low-voltage scanning electron microscope metrology /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
1997.
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| 主題: | |
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| 實物描述: | iv, 159 leaves : ill. ; 30 cm. |
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| 參考書目: | Bibliography: leaves 146-155. |