Effects of RF power and annealing on the properties of RF sputtered amorphous silicon carbide films /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Chong, Nyok Boon
التنسيق: أطروحة كتاب
اللغة:English
منشور في: 2000.
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
الوصف
وصف مادي:xii, 121 leaves : ill. ; 30 cm.
بيبلوغرافيا:Bibliography: leaves 62-70.