On pole-restriction design of the PID controller for the semiconductor wafer baking process /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Liu, Jian
التنسيق: أطروحة كتاب
اللغة:English
منشور في: 1999.
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
الوصف
وصف مادي:xix, leaves : ill. ; 30 cm.
بيبلوغرافيا:Bibliography: leaves 62-66.