Time & temperature optimization for iron-boron pair (Fe-B) dissociation in silicon wafers by surface photovoltage (SPV) method /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Phang, Siew Wei
التنسيق: أطروحة كتاب
اللغة:English
منشور في: 2006.
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
الوصف
وصف مادي:ix, 67, A4, B4, C43 leaves : ill. ; 30 cm.
بيبلوغرافيا:Bibliography: leaves 65-67.