PZT driven silicon XY microstage for multiprobe data storage /

PZT driven silicon XY microstage for multiprobe data storage /

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書目詳細資料
主要作者: Mohd Faizul Mohd Sabri
格式: Thesis 圖書
語言:English
出版: 2009.
主題:
Piezoelectric devices > Materials.
Nanotechnology > Materials.
Microactuators > Materials.
Electromechanical devices.
Microelectronics.
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實物特徵
Item Description:Cover title.
實物描述:v, 207 p. : ill. ; 30 cm.
參考書目:Includes bibliographical references.

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